磁功能薄膜材料及其在高灵敏度磁传感器中的应用技术

• 来源期刊: 乙醛醋酸化工
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 50-50
• 页数: 1页
• 分类号: TB383.2

摘要

一、成果简介高灵敏度磁传感器集磁功能薄膜材料技术、纳米技术与半导体集成技术于一身。由于其对磁场、温度、电压电流、应力应变、压力等的变化敏感,可用于非接触式位置测量、加速度测量、角度测量、速度测量、电流测量、应力应变测量、压力测量以及生物芯片等。其初级产品为高灵敏度磁传感器芯片,目标产品为各类高灵敏度车用传感器、电子罗盘、磁编码器、磁栅尺、电流检测、接近开关、无损检测及各种弱