100mm×100mm镀金反射光栅的制作与测量

• 作者: 卜凡涛 周常河 李民康 鲁云开
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 镀金光栅 测量 激光直写 衍射效率
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 251-255
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0904001

摘要

衍射光栅在各行各业有着广泛的应用,这就要求光栅必须具有良好的质量.在制作大尺寸光栅的各种方法中,激光直写技术具有明显优势,采用并行激光直写技术制作出了尺寸为100 mm×100mm、线数为1780 line/mm的正弦形光栅.首先对光栅进行理论分析,找出正弦形光栅在效率最高时的槽深;然后用激光直写技术制作光栅,最后在光栅表面镀上一层金膜.测量了光栅的衍射效率,并预估光栅的均匀性.结果表明:光栅的衍射效率约为90％,与理论值接近,而且分布很均匀,证明了并行激光直写技术制作高质量、大尺寸光栅的可行性.