光谱共焦三维形貌仪用超大色散线性物镜组设计

• 作者: 云宇 刘子维 刘晨星 杨锐 王安苏 解滨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱共焦 色散物镜 表面测量 线性色散 光学设计
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|O439
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.170521

摘要

光谱共焦三维形貌仪具有精度高、测量范围大、适应性强等特点,其关键部件是产生轴向色散的物镜,色散物镜轴向色散与波长间的非线性会导致系统整体性能下降.分析了共焦法检测表面形貌的工作原理,以及产生线性轴向色散的条件,根据共焦光学系统的基本设计原理,在预设的设计指标及要求下,完成一个超大色散线性物镜组设计.该色散物镜组采用四级串联结构,在400~700 nm光谱范围内达到30 mm的色散范围,波长离焦量和波长之间线性度通过线性回归拟合得出判定系数为1,满足色散的线性度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨锐		3	3	1.0	1.0
2	云宇		2	3	1.0	1.0
3	刘晨星		2	3	1.0	1.0