基于电容位移传感器与金属球的三维定位方法与实验研究

• 作者: 李少博 袁道成 陶鑫
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 三维定位 非接触 电容位移传感器
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 166-170,179
• 页数: 6页
• 分类号: TH711
• 字数: 3479字
• 语种: 中文

摘要

文中提出一种基于电容位移传感器测量金属球的非接触三维定位方法.通过理论与实验方法研究了定位精度的影响因素,发现定位精度与传感器的参数、金属球球径、传感器与金属球表面之间的距离等参数有关.通过优化参数设计实验,采用CSH02FL-CRm1,4电容式微位移传感器获得了小于2 μm的x、y方向定位精度,小于0.1μm的z方向定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁道成	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	27	190	9.0	13.0
3	李少博	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	3	2	1.0	1.0
6	陶鑫	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	1	0	0.0	0.0