标定误差对色散条纹共相误差检测影响的修正

• 作者: 张春悦 徐抒岩 许博谦 鞠国浩 齐鑫
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 成像系统 色散条纹传感器 共相误差检测 色散条纹中心线 标定误差 主峰位移提取法
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 100-107
• 页数: 8页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0711003

摘要

色散条纹共相误差检测技术需要以一定的方法对采集的色散条纹图像进行分析处理,才能得到所对应的平移误差值.与其他色散条纹分析方法相比,主峰位移提取法能够同时适用于大量程以及一个波长以内小量程的平移误差检测.但是,该方法的检测精度容易受到条纹中心线标定误差的影响.为对该影响进行修正,首先通过分析平移误差对双孔衍射图样的影响,提出了一种条纹中心线位置自适应提取方法;在此基础上,结合主峰位移提取法的基本原理,提出了修正条纹中心线标定误差影响的方法;最后搭建实验光路,验证了所提修正方法的有效性.实验结果表明,在存在中心线标定误差的情况下,所提方法能够取得小于30 nm的测量精度,相比于修正之前精度大大提高.该方法有效地提高了主峰位移提取法的的抗干扰能力与工程实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐抒岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	73	582	15.0	21.0
2	许博谦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	20	3.0	4.0
3	齐鑫	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	322	8.0	12.0
4	鞠国浩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	0	0.0	0.0
5	张春悦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	0	0.0	0.0