基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

• 作者: 房丹 方铉 王新伟 王晓华 王登魁 陈子男 魏志鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 表面等离子体 掺铝氧化锌 光学带隙 光学损耗 电学损耗
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 121-125
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0503001

摘要

在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试,研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响.随着Al组分浓度的逐渐增大,AZO薄膜吸收边发生蓝移且吸收强度逐渐减小,光学损耗减小;同时,载流子浓度与迁移率先增大后减小,而电学损耗先减小后增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方铉		37	60	4.0	6.0
2	魏志鹏		44	104	5.0	8.0
3	王晓华		54	156	7.0	9.0
4	王登魁		18	0	0.0	0.0
5	房丹		25	18	3.0	3.0
6	王新伟		21	67	3.0	8.0
7	陈子男		2	0	0.0	0.0