光学在精密测量中的应用

• 作者: 张泰然
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非接触式测量 精密测量 干涉仪 相位 光谱共焦
• 年，卷（期）: 2018,（23）
• 所属期刊栏目: 监测与诊断
• 页码范围: 84-85
• 页数: 2页
• 分类号: TB96
• 字数: 2261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0711.2018.23.034

摘要

在现代工业测量中,传统测量方法已经不能满足需要,因此利用光学原理的非接触式测量开始被广泛应用.本文论述了干涉仪、定量相位成像显微镜、激光三角法以及光谱共焦四种光学精密测量仪器的原理,并进行了对比,提出了改进意见.