基于LaB6的新型高分辨X射线显微技术开发进展

• 作者: 刘华荣
• 来源期刊: 中国新通信
• 关键词: X射线显微镜 微焦点 LaB6
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 互联网+健康
• 页码范围: 235-236
• 页数: 2页
• 字数: 2666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4866.2018.12.202

摘要

当前的微焦点X射线显微系统分辨率已高达1微米级别,但是仍满足不了集成电路工业高端检测需求.国外近年来出现了一种基于LaB6热阴极的新型X射线显微镜,分辨率可达0.4mm,成像质量大为提高.本文系统分析了该显微镜的设计原理,并对其未来发展趋势进行了预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘华荣	中国电子科技集团公司第三十八研究所	4	4	1.0	2.0