基于区域质心的MEMS面内位移测量方法的研究

• 作者: 蒋秋照
• 来源期刊: 卷宗
• 关键词: MEMS面内位移测量 区域质心
• 年，卷（期）: 2018,（17）
• 所属期刊栏目: 科技文档
• 页码范围: 231
• 页数: 1页
• 字数: 1005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4669.2018.17.220

摘要

MEMS面内位移的测量是其动态测量中的一项重要内容。测量MEMS的位移量通常会直接选取单点为参考点来进行位移的测量，这种测量方法比较简单，计算量小，但是误差大。本文提出了一种基于区域质心的MEMS面内位移测量法，由于对于一个固定的模版，其质心位置相对于模板是不变的，不会随着图像移动、旋转伸缩而有大幅度的位置变化，使测量更准确。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋秋照		2	0	0.0	0.0