基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

• 作者: 刘铁根 张瑞峰 桑梅 王双 赵帆
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 图像处理 平面微运动测量 SURF算法 频闪成像
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 专题研究与综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TM93|TH703.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.19557/j.cnki.1001-9944.2020.08.001

摘要

针对MEMS等微小目标的高频面内振动的高精度快速检测的需要,提出了基于SURF算法的特征点匹配测量方法.该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上,使用SURF与RANSAC算法,对序列中相邻图像进行特征点的检测与匹配,再去除匹配结果中的粗大误差,获取待测目标的亚像素位移,并转化为实际的空间距离.试验结果表明,该方法可以达到100 nm的空间分辨率,实现对MEMS面内振动的高精度快速测量,满足快速高精度检测的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王双	天津大学精密仪器与光电子工程学院	23	150	5.0	12.0
5	张瑞峰	天津大学微电子学院	37	334	11.0	16.0
6	桑梅	天津大学精密仪器与光电子工程学院	16	57	5.0	7.0
10	赵帆	天津大学精密仪器与光电子工程学院	4	0	0.0	0.0