大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展

• 作者: 于宏柱 于海利 张善文 李晓天 杨国军 糜小涛 齐向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅拼接 误差检测 误差分离 相位校正 拼接装置
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 542-551
• 页数: 10页
• 分类号: TN256|O436.1
• 字数: 4069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192703.0542

摘要

大尺寸反射式光栅是提高天文光谱仪分辨率和啁啾脉冲放大系统输出能量的核心元件.随着天文和激光核聚变技术的发展,大尺寸反射式光栅的研制已成为国内外学者研究的热点.相较于单块大尺寸反射式光栅的研制,拼接法以其难度系数低、制作成本低和待拼接的小光栅易制作、质量高等优点成为了制作大尺寸反射式光栅的主要方法.本文介绍了大尺寸反射式光栅拼接技术的基本原理,详细综述了光栅拼接技术的研究进展,包括光栅拼接误差检测理论、光栅拼接误差分离、拼接光栅波前相位校正、光栅拼接误差维数的削减和光栅拼接装置,最后总结了光栅拼接技术的优缺点并指出了其未来的发展方向.