周期性微偏振片阵列特性研究

• 作者: 于淼 宋贵才 曹亮 王作斌 陈星
• 来源期刊: 现代物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 微偏振片 聚焦离子束刻蚀 电子束光刻 铝纳米线栅阵列 偏振性能
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 23-31
• 页数: 9页
• 分类号: O43

摘要

本文主要研究周期性微偏振片阵列的制备与偏振特性。首先采用电子束光刻技术制备周期性的铝纳米线栅阵列,其次利用聚焦离子束刻蚀技术制备不同深度的铝纳米线栅阵列。之后通过偏振光路测试系统表征铝纳米线栅阵列,讨论周期、深度对偏振片偏振性能的影响。实验结果表明,在可见光谱中适当减小光栅的周期、增加光栅结构的深度均可以改善周期性微偏振片阵列的偏振性能。