不同粒径球形氧化铝的制备及其对蓝宝石的抛光性能研究

• 作者: 张曼
• 来源期刊: 安徽化工
• 学科: 工学
• 关键词: 球形氧化铝 化学机械抛光 蓝宝石 去除速率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TQ133.1
• 字数: 3586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-553X.2019.02.013

摘要

采用均匀沉淀法,以硫酸铝、尿素、PEG-2000为原料,通过调整Al3+浓度制备不同粒径的球形氧化铝.采用X射线衍射仪、扫描电镜对前驱体及氧化铝进行表征.将不同粒径的氧化铝及外购的氧化铝磨料对蓝宝石进行晶片化学机械抛光,利用原子力显微镜检查抛光前后蓝宝石表面粗糙度.结果 表明,自制粒径360 nm的球形氧化铝具有最好的抛光效果,材料去除率为21.0nm/min,表面粗糙度Ra=0.373nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张曼	合肥工业大学化学与化工学院	4	6	1.0	2.0