电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望

• 作者: 周聪 范相虎 袁军 郭嘉
• 来源期刊: 粘接
• 学科: 工学
• 关键词: 电子级磷酸 制备 应用 芯片级
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告与专论
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TQ402
• 字数: 4013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5922.2019.05.016

摘要

由于液晶显示器(LCD)工业和半导体芯片工业在中国迅速普及,用于清洗和蚀刻的电子级磷酸的需求正在日益增加,对磷酸中金属离子含量的要求也越来越高,为满足中国对电子级磷酸的需求,此方向成为许多研究学者研究的重点.本文介绍了近年来电子级磷酸的研发现状,以及在LCD工业和半导体芯片工业的应用,并对芯片级磷酸进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭嘉	武汉工程大学绿色化工过程教育部重点实验室	67	390	10.0	15.0
2	袁军	武汉工程大学绿色化工过程教育部重点实验室	48	211	7.0	12.0
3	周聪	武汉工程大学绿色化工过程教育部重点实验室	7	6	2.0	2.0
4	范相虎	武汉工程大学绿色化工过程教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0