飞秒激光作用下金膜的微观特性变化

• 作者: 崔云 张晗宇 晋云霞 朱美萍 赵元安 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 飞秒激光 激光损伤阈值 损伤形貌
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: O43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0203001

摘要

用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金 (Au) 膜, 研究了Au膜在近激光损伤阈值 (LIDT) 飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌.结果表明:所制备的Au膜为 (111) 面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶粒, 并由 (111) 单一取向变为多晶结构;Au膜晶粒尺寸的增大会导致表面粗糙度增加.实验结果为明确Au膜在飞秒激光作用下的损伤过程及后期应用提供了依据.