垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响

• 作者: 冯海通 唐吉龙 张宝顺 房丹 梁静 苏瑞巩 贾慧民 魏志鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 台面结构 氧化孔 激射性能 边模抑制比
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0301001

摘要

为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出,设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件,研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响.研究结果表明:VCSEL台面直径越大,阈值电流越大;氧化孔径越偏向圆形,边模抑制比越高.制备了氧化孔为圆形、直径为4.4 μm的VCSEL器件,该器件在70～90℃工作温度及0.6 mA驱动电流下实现了894.6 nm单模激光输出,边模抑制比高于35 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁静	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	17	68	4.0	7.0
2	贾慧民	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	1	0	0.0	0.0
3	冯海通	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	1	0	0.0	0.0
4	唐吉龙	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
5	房丹	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
6	苏瑞巩	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0
7	张宝顺	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	13	29	3.0	5.0
8	魏志鹏	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0