电压衬度方法检测先进制程中极微小物理缺陷的研究

• 作者: 倪棋梁 范荣伟 陈宏璘
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 电压衬度 电子束扫描 28nm 缺陷检测 形貌衬度 化学机械研磨
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 字数: 1763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2019.05.008

摘要

针对STI表面极微小氧化物残留缺陷,探索了应用电压衬度检测缺陷的方法,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案.对缺陷检测方法进行了机理分析:通过调整电荷的积累与释放速率,增强缺陷的形貌衬度信号.根据实验结果,进一步推论了缺陷形成的机理,优化了化学机械研磨工艺条件并更新了研磨液种类,从而使缺陷问题得到解决.E-beam扫描提供的全新检测方法,弥补了亮场缺陷检测方法分辨率较低的局限,为工艺改善提供了在线数据指标,与良率测试结果相比,加快了先进制程产品的研发进度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪棋梁		2	0	0.0	0.0
2	范荣伟		4	0	0.0	0.0
3	陈宏璘		2	0	0.0	0.0