氧气等离子体处理对铟锡氧化物薄膜表面性质的影响

• 作者: 康淮 陆轴 顾锦华
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铟锡氧化物 氧气等离子体处理 表面性质
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与电子信息科学
• 页码范围: 445-451
• 页数: 7页
• 分类号: TN304
• 字数: 600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12130/znmdzk.20190323

摘要

采用氧气等离子体处理对铟锡氧化物(ITO)薄膜进行表面改性,基于化学组分、接触角、表面能和极性度的测试表征,研究了氧气等离子体处理对ITO表面性质的影响以及表面性能随放置时间的变化.实验结果表明:氧气等离子体处理有效去除了ITO表面的污染物,改善了ITO表面的化学组分、提高了表面能、极性度和润湿性,从而优化了ITO的表面性能.但是随着处理后放置时间的增加,ITO薄膜的表面能减小、极性度降低、润湿性退化,从而相应的表面性能也变差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾锦华	中南民族大学实验教学与实验室管理中心	33	183	9.0	12.0
2	陆轴	中南民族大学电子信息工程学院	19	78	6.0	8.0
3	康淮	中南民族大学电子信息工程学院	11	61	6.0	7.0