新型半填充微气相色谱柱芯片研究

• 作者: 冯飞 李昕欣 杨雪蕾 田博文 罗凡 赵斌
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 半填充微气相色谱柱 椭圆微柱 分离度 柱效
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列.与现有半填充 μGCC相比,新型 μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用.设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物,理论塔板数最高可达到9246 plates/m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	95	1537	21.0	36.0
2	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	15	52	5.0	6.0
3	田博文	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0
7	罗凡	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0
11	杨雪蕾	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0