靶材用氧化铌粉体的制备及表征

• 作者: 唐仁衡 彭能 王亮亮 肖世文 金明亚 高远
• 来源期刊: 粉末冶金工业
• 关键词: 高纯氧化铌 氢化脱氧 振实密度 靶材
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20170131

摘要

采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试.结果 表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96％(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3％,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性.