基于捷径重试规则晶圆带式搬运系统性能优化

• 作者: 周炳海 陈立扬
• 来源期刊: 工程科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 捷径优化 自动物料搬运系统 重试排队模型 interbay系统
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 261-268
• 页数: 8页
• 分类号: TP29
• 语种: 中文
• DOI: 10.13374/j.issn2095-9389.2019.02.014

摘要

采用数学分析的方法构建了性能分析模型并提出了制定捷径决策的方法.在建模过程中,首先引入了重试运输规则,并考虑重试率随捷径策略变动的情况下,引用相关重试排队模型,构建了系统期望在制品数量的数学表达式.同时根据每条捷径的使用成本,构建了相应的捷径成本的数学表达式.从而获得以最小化捷径数量与在制品数量为目标函数的优化分析模型.此外,引入了基于传送带长度的约束条件,使系统在每段传送带以及捷径上的在制品数量不会超过传送带的容量限制.最后使用NSGA-II算法对多目标优化问题进行分析计算.考察在不同物流负荷下的系统在制品数量和成本之间的关系变化规律,并分别绘制帕累托前沿图形进行比较分析,研究了目标函数中的系数设定对系统的影响,并结合聚类分析的算法对所得的解集进行分类.综合以上分析结果总结出系统捷径的最佳使用策略,并通过与现有系统和搬运策略进行比较,证实了该策略在降低成本和在制品方面的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	同济大学机械与能源工程学院	166	679	12.0	15.0
2	陈立扬	同济大学机械与能源工程学院	1	0	0.0	0.0