红外光热吸收成像技术在碲锌镉材料检测中的应用

• 作者: 孙士文 徐超 杨建荣 董敬涛 赵建华
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 红外 光热吸收 碲锌镉
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 325-330
• 页数: 6页
• 分类号: O474
• 字数: 3922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.03.012

摘要

红外光热吸收效应作为一种无损伤非接触的检测技术,已经被广泛用于硅等半导体材料中的微缺陷表征分析.采用光热吸收技术对碲锌镉晶体中的缺陷进行扫描成像分析时发现了一种连续性的光貌相条纹,并对这些条纹的形成机理进行了研究.研究表明碲锌镉晶体中的这种连续性条纹源自于光热测试系统中入射光的干涉,这种干涉和入射光参数、测试样品的厚度、禁带宽度以及热导率等材料特性密切相关.最后,实验通过优化红外光热吸收测量系统获得了碲锌镉材料中的微缺陷结构及其在样品深度方向的三维分布图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建荣	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	38	175	7.0	11.0
5	徐超	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	49	243	9.0	13.0
9	孙士文	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	16	28	3.0	4.0
13	董敬涛		1	0	0.0	0.0
14	赵建华		1	0	0.0	0.0