四氯化硅冷氢化技术研究进展

• 作者: 沈峰 潘维杰 陈其国
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 三氯氢硅 多晶硅 冷氢化
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 氯产品
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TQ264.1+1
• 字数: 4053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1785.2019.09.007

摘要

综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈其国		13	87	5.0	9.0
2	沈峰		2	1	1.0	1.0
3	潘维杰		1	0	0.0	0.0