多晶高效PERCT电池工艺研究

• 作者: 张波 杨飞飞 苗杰 赵科巍 郭卫
• 来源期刊: 煤
• 学科: 工学
• 关键词: PERCT 氮化硅 激光刻槽 BSG
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 1883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2798.2019.10.002

摘要

文章主要对高效PERRCT电池关键工序进行研究,针对每个工序的重要工艺点进行分析,找出合理的效率提升方向,经过反复测试验证,确定了最优的工艺参数,效率综合提升了0.2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵科巍		3	2	1.0	1.0
2	张波		5	2	1.0	1.0
3	郭卫		2	0	0.0	0.0
4	杨飞飞		2	0	0.0	0.0
5	苗杰		2	0	0.0	0.0