等离子清洗工艺在HIC中运用可靠性研究

• 作者: 左凤娟 朱仁贤 王腾
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子清洗 镀金 电容 溅射蒸镀 自我偏压
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 77-82
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王腾	中国电子科技集团公司第四十三研究所	16	9	2.0	2.0
2	左凤娟	中国电子科技集团公司第四十三研究所	4	0	0.0	0.0
3	朱仁贤	中国电子科技集团公司第四十三研究所	5	0	0.0	0.0