Φ200mm口径长焦距球面干涉测试及装备

• 作者: 刘敏 赵子嘉 赵智亮 陈立华 陈辉
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 长焦距准直测试系统 球面干涉仪 大曲率半径
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 原创文章
• 页码范围: 866-871
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191204.0866

摘要

为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型 Φ200 mm口径长焦距准直干涉测试装置.该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距准直测试原理对凹球面大曲率半径光学元件进行面形精度检测,最大测试口径为 Φ226.67 mm,且球面标准镜和球面标准反射镜同轴共球心,大幅度减小了测试空腔距离.结果表明,该系统空腔测试精度PV值为0.097λ@632.8 nm,RMS值为0.013λ@632.8 nm,系统重复稳定性优于λ/500@632.8 nm,可实现曲率半径为7500～8500 mm测试,且大曲率半径测试误差小于1/1000.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵智亮		3	23	2.0	3.0
5	刘敏		2	2	1.0	1.0
6	陈立华		3	23	2.0	3.0
7	赵子嘉		2	2	1.0	1.0
8	陈辉		1	0	0.0	0.0