高过载加速度敏感芯片的结构与特性

• 作者: 张冰 张贺 揣荣岩 李新 杨宇新
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 高过载 高固有频率 断裂强度 应变电阻
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2958字
• 语种: 中文

摘要

为满足极端应用情况对高过载加速度传感器的需求,设计了一种带有微梁的加速度敏感结构.通过对主梁和微梁应力分布及敏感结构固有频率的仿真分析,给出了该敏感结构的设计方法,以此确定了传感器的结构参数.基于单晶硅材料断裂强度的尺寸效应,分析了敏感结构的过载特性.仿真结果表明,微梁的引入极大改善了加速度传感器的过载能力,所设计量程为1g的加速度敏感芯片,其满量程输出约为40 mV,过载可达79倍量程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新	沈阳工业大学信息科学与工程学院	60	231	9.0	12.0
2	揣荣岩	沈阳工业大学信息科学与工程学院	31	90	5.0	8.0
3	张贺	沈阳工业大学信息科学与工程学院	10	12	2.0	3.0
4	杨宇新	沈阳工业大学信息科学与工程学院	3	0	0.0	0.0
5	张冰	沈阳工业大学信息科学与工程学院	3	0	0.0	0.0