超精密车削单晶锗表面性能分析

• 作者: 付旺 刘思宇 史国权 张华 王淑坤 石广丰 韩冬冬
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶锗 X射线 摇摆曲线 晶面间距
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 208-213
• 页数: 6页
• 分类号: TG51
• 字数: 2427字
• 语种: 中文

摘要

单晶锗是典型的红外光学晶体材料,其加工表面的评价方法大都局限于面形精度,而加工过程所产生的位错及晶面间距变化也会影响单晶锗的使用性能.为了全面地评价单晶锗加工后的表面性能,通过表面粗糙度轮廓仪、X射线衍射仪等设备,对超精密车削的单晶锗平面及曲面进行了表面粗糙度和X射线检测,获得了针对单晶锗平面的表面粗糙度与位错密度相结合的性能评价方法,及针对单晶锗曲面的表面粗糙度与晶面间距变化程度相结合的性能评价方法.相关研究对单晶锗在红外光学及其它领域的加工应用有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王淑坤	长春理工大学机电工程学院	44	142	6.0	10.0
2	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
3	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
4	刘思宇	长春理工大学机电工程学院	5	3	1.0	1.0
5	韩冬冬	长春理工大学机电工程学院	4	2	1.0	1.0
6	付旺	长春理工大学机电工程学院	2	0	0.0	0.0
7	张华	长春理工大学机电工程学院	6	81	3.0	6.0