超精密车削表面微观形貌对光学特性的影响

• 作者: 宫虎 房丰洲 黄昆涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密车削 散射特性 Stratton-Chu积分 微观形貌
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 101-107
• 页数: 7页
• 分类号: TG51|TH162
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132101.0101

摘要

研究了超精密车削表面微观拓扑形貌与光散射特性之间的关系,用于评价车削加工表面的光学性能并优化加工过程.采用阈值分析和粗糙表面散射理论分析两种方法研究了仅有理想刀痕的表面所产生的重影现象.阈值分析是指先计算单段圆弧刀痕的散射特性,再根据周期性结构对光的调制性来求得被加工表面为镜面对刀尖圆弧半径和进给率(主轴每转的进给距离)选择的大约临界值要求.在入射光波长500 nm的情况下,当刀尖圆弧半径选择500 μm时,可以计算得出阈值进给率为19μm.粗糙度散射理论分析则是通过电场积分公式——Stratton-Chu公式进行更精确的计算.实验表明,对于超精密车削加工得到的表面,当从入射光的非镜面方向,尤其是一极大散射方向观察不到光强时,即可以认为加工出了镜面效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宫虎	天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	140	7.0	11.0
2	房丰洲	天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0
3	黄昆涛	天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	8	1.0	1.0