铌酸锂波导质子交换温度控制及折射率分布研究

• 作者: 刘嘉琪 宋凝芳 宋镜明 戴念
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂波导 PID温度控制 质子交换 H+浓度纵向分布 折射率纵向分布
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 655-660
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2019.05.010

摘要

针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法,建立了质子交换温控模型,并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析,在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H+浓度纵向分布的影响.采用预热-反应方法制作了波导样本,实验测试了其折射率纵向分布,并与传统工艺制作的波导样本测试结果进行对比,验证了所提方法对质子交换精确控制的有效性.实验表明:预热-反应方法折射率分布同理论计算折射率分布结果吻合更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋凝芳	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	115	698	15.0	21.0
2	宋镜明	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	19	36	4.0	5.0
3	戴念	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0
4	刘嘉琪	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	0	0.0	0.0