酒精蒸汽激光检测系统滤光器件的研制

• 作者: 付秀华 刘冬梅 卢成 张功 张静 王野
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学器件 光学薄膜 双通滤光膜 膜层敏感度 膜应力
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 16-22
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1101003

摘要

为提高酒精检测系统的信噪比,根据比尔-朗伯定律确定双通窄带滤光片的技术参数;根据技术参数在Si基底上采用双面拆分法设计窄带滤光片,建立折射率渐变模型确定反演系数,实现膜层的准确控制.采用真空室原位退火法提高膜层聚集密度,降低膜层应力,进而提高膜层附着力,稳定膜层光谱性能;制备的膜层能够满足在(1392±10) nm和1530～1570 nm波段透射率大于90％,400～1350 nm和1600～1800 nm波段透射率小于1％,在1410～1515 nm波段透射率小于30％的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华		141	525	11.0	15.0
2	王野		11	16	2.0	4.0
3	张静		67	132	6.0	8.0
4	刘冬梅		49	107	5.0	8.0
5	张功		7	6	2.0	2.0
6	卢成		2	0	0.0	0.0