高精度位移测量系统的硬件在环仿真

• 作者: 张文涛 杜浩 熊显名 王献英 谢仁飚
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 精密测量 二维光栅 硬件在环 光刻机
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 86-92
• 页数: 7页
• 分类号: TH822
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0204001

摘要

设计了一个基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台, 分析了测量模型在编程过程中产生误差的原因, 并使用该仿真平台测试了模型的精度和运算时间.结果表明, 当计算频率为20 kHz时, 测量模型的编程精度优于0.79 nm, 测量机箱引起的误差为8.84×10-7 nm.该仿真平台能够有效地检测基于二维光栅的测量模型在编程过程中产生的误差, 并测试模型运算时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊显名		99	367	10.0	14.0
2	张文涛		105	506	10.0	18.0
3	谢仁飚		2	0	0.0	0.0
4	杜浩		6	4	1.0	2.0
5	王献英		3	0	0.0	0.0