平面绝对检测闭环自检实验研究

• 作者: 吴泉英 唐寿鸿 张凌华 李雪园 王全召 韩森
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 面形测量 4步旋转绝对检测法 闭环自检 重复性
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 208-212
• 页数: 5页
• 分类号: TB96
• 字数: 3276字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.02.06

摘要

基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°.实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形.其中平面C的表面面形起伏高度均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别为3.460 nm和35.227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3.783 nm和34.305 nm以及3.669 nm和34.252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检.使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量,平面的RMS值和峰谷PV值分别为2.400 am和19.600 nm,与该院的测量结果2.000 nm和16.000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴泉英		46	334	10.0	17.0
2	韩森		19	17	3.0	3.0
8	唐寿鸿		3	6	2.0	2.0
12	张凌华		1	1	1.0	1.0
19	李雪园		1	1	1.0	1.0