脉冲激光诱导碳等离子体的特性

• 作者: 周素素 左都罗 王新兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 等离子体诊断 碳等离子体 发射光谱法 电子温度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 光谱学
• 页码范围: 310-315
• 页数: 6页
• 分类号: O433
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0111001

摘要

为了研究不同空气压力条件下碳等离子体的动力学特性,采用发射光谱法对碳等离子体进行诊断.采用1064 nm Nd∶YAG激光器烧蚀碳靶,测得早期的发射光谱为连续谱,此时使用黑体辐射公式拟合并推算碳等离子体的电子温度;当线状谱出现后,采用玻尔兹曼作图法计算电子温度,并观察电子温度和电子密度随延时的演化趋势,以及空气压力对演化的影响.结果 表明:不同空气压力条件下,电子温度和电子密度随延时的变化趋势一致;随着空气压力增大,等离子体受到的限制更大,粒子间的碰撞增加,导致电子温度和电子密度随之增大;在0.01 Pa压力下沉积得到了石墨烯薄膜.