新型传感材料与器件研究进展

• 作者: 屠海令 张青竹 杜军 樊彦艳 赵鸿滨 魏峰
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 传感材料 传感器件 石墨烯 有机半导体 生物传感 微机电系统
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-24
• 页数: 24页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY18090024

摘要

新型传感技术融合了材料科学、微纳电子技术、生物技术等学科,是人工智能、精准医疗、新能源等战略前沿的先导和基础,也是智慧城市、智慧医疗等物联网应用的技术关键.智能化、微型化、多功能化、低功耗、低成本、高灵敏度、高可靠性是新型传感器件的发展趋势和主要研究方向.新型传感器件的传感性能很大程度上取决于传感材料的化学成分、表面修饰、传感层微观结构和完整性等因素.近年来,新型传感材料与器件的研究方兴未艾,为现代传感技术的深入开发与应用带来了新的机遇.本文综述了新型传感材料,包括硅纳米线、石墨烯、碳纳米管、二维材料、金属有机框架材料、水凝胶材料以及有机半导体材料等在力学传感、声学传感、生物传感、爆炸物监测等方面的应用.讨论了微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)传感器技术,以及柔性可穿戴传感器相关材料、器件结构和制造方法的最新进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜军		75	496	13.0	17.0
2	屠海令		42	224	8.0	12.0
3	赵鸿滨		11	58	4.0	7.0
4	魏峰		11	43	4.0	6.0
5	张青竹		2	17	2.0	2.0
6	樊彦艳		1	10	1.0	1.0