基于200PS激光的人造金刚石激光精细加工实验研究

• 作者: 冯爱新 周远航 唐杰 尚大智 李莹 薛遥
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 硬脆性材料 人造金刚石 崩边 表面光洁度
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 609-613
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20193904.609

摘要

皮秒激光精密加工金刚石等硬脆性材料是当前最佳工程解决方案与技术前沿热点.常规采用脉冲宽度≤20 ps激光光源,可以实现切割面崩边＜5μm,表面粗糙度Ra1.6的切割质量.我们采用脉冲宽度200 ps的低成本皮秒光纤激光器,对激光功率与切割速度等工艺参数进行优化,通过外光路整形系统对光束进行整形,以及聚焦透镜的优化设计等关键技术进行研发,实现了切缝的最大崩边宽度≤6 μm、表面粗糙度Ra1.6的加工质量,其加工效率与20 ps激光精密加工工艺一致,生产成本显著降低,满足了生产金刚石刀具精密切割需求,可解决拉丝模、刀具刃口加工的后续抛光问题.