钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
金属学与金属工艺期刊
\
稀有金属期刊
\
单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征
单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征
作者:
刘宇阳
徐冉
桂涛
王志刚
王星明
龚树河
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硼化锆
碳热还原
添加剂
靶材
镀膜
摘要:
以氧化锆(ZrO2)、硼酸(H3BO3)和碳粉(C)为原料,硼(B)粉为添加剂,采用碳热还原法合成硼化锆(ZrB2)粉体,在真空碳管炉中,采用氩气气氛保护,加热升温至1900℃合成ZrB2粉体,然后利用热压烧结,在70 MPa、温度1980℃、保温保压时间4h的热压工艺制备ZrB2靶材,对制备获得的ZrB2靶材进行溅射镀膜表征.通过X射线衍射(XRD)分析产物物相,扫描电镜(SEM)观察产物微观形貌.研究结果表明:添加5%(质量分数)的B粉,可合成单一相ZrB2粉体,颗粒平均尺寸为2~3 μm,合成的ZrB2粉体具有良好的烧结活性,在不添加任何烧结助剂的条件下采用热压烧结工艺可获得相对密度为93%的单一相ZrB2靶材.磁控溅射镀膜表明,在功率密度60 kW-m-2、连续溅射3h条件下,沉积的膜层均匀致密,厚度约为8.6 μm;10次溅射实验表明,靶材溅射速率稳定,平均溅射速率约52.4 g·kWh-1·m-2;且在相同溅射条件下,与进口商业化ZrB2靶材的溅射速率性能相当.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
ZrB2/SiC前驱体的制备、表征及裂解行为
液相前驱体
裂解
碳热还原
ZrB2/SiC复相陶瓷
纳米颗粒
多孔结构
ZrB2陶瓷制备研究进展
超高温陶瓷
ZrB2陶瓷
前体转化陶瓷
ZrO2纤维模板自蔓延高温合成ZrB2/Al2O3复合粉
自蔓延高温合成
模板法
氧化锆纤维
硼化锆纤维
复合粉体
ZrB2粉体制备技术的研究进展
ZrB2
制备技术
硼/碳热还原法
溶胶-凝胶法
高频等离子体法
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征
来源期刊
稀有金属
学科
工学
关键词
硼化锆
碳热还原
添加剂
靶材
镀膜
年,卷(期)
2019,(9)
所属期刊栏目
研究简报
研究方向
页码范围
1003-1008
页数
6页
分类号
TQ174.6
字数
2448字
语种
中文
DOI
10.13373/j.cnki.cjrm.XY18090032
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
龚树河
1
0
0.0
0.0
2
徐冉
1
0
0.0
0.0
3
刘宇阳
1
0
0.0
0.0
4
桂涛
1
0
0.0
0.0
5
王志刚
1
0
0.0
0.0
6
王星明
1
0
0.0
0.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(82)
共引文献
(14)
参考文献
(15)
节点文献
引证文献
(0)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1995(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1996(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1997(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2002(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2003(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2004(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2005(8)
参考文献(1)
二级参考文献(7)
2006(6)
参考文献(0)
二级参考文献(6)
2007(13)
参考文献(2)
二级参考文献(11)
2008(7)
参考文献(1)
二级参考文献(6)
2009(9)
参考文献(1)
二级参考文献(8)
2010(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2011(10)
参考文献(1)
二级参考文献(9)
2012(10)
参考文献(0)
二级参考文献(10)
2013(7)
参考文献(3)
二级参考文献(4)
2014(7)
参考文献(3)
二级参考文献(4)
2015(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
2016(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2017(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2019(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硼化锆
碳热还原
添加剂
靶材
镀膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属
主办单位:
北京有色金属研究总院
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7076
CN:
11-2111/TF
开本:
大16开
出版地:
北京新街口外大街2号
邮发代号:
82-167
创刊时间:
1977
语种:
chi
出版文献量(篇)
4172
总下载数(次)
13
总被引数(次)
39184
期刊文献
相关文献
1.
ZrB2/SiC前驱体的制备、表征及裂解行为
2.
ZrB2陶瓷制备研究进展
3.
ZrO2纤维模板自蔓延高温合成ZrB2/Al2O3复合粉
4.
ZrB2粉体制备技术的研究进展
5.
ZrB2粒径对Si3N4-ZrB2陶瓷相组成、显微结构及电阻率的影响
6.
反应热压烧结制备SiC/ZrB2复相陶瓷及其性能表征
7.
溶胶-凝胶法制备核级ZrB2粉体
8.
反应烧结ZrB2基多孔陶瓷
9.
反应气体对ZrB2涂层物相及显微结构的影响
10.
凝胶陈化对ZrB2粉末制备的影响
11.
ZrB2材料的制备工艺与应用
12.
ZrB2/Al-Si合金复合材料微观组织分析研究
13.
ZrB2-SiC复相陶瓷的制备及其力学性能研究
14.
添加YAG对ZrB2及ZrB2-Al2O3陶瓷抗高温氧化性的影响
15.
ZrB2/ZrO2复合粉体的放电等离子烧结行为
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
稀有金属2022
稀有金属2021
稀有金属2020
稀有金属2019
稀有金属2018
稀有金属2017
稀有金属2016
稀有金属2015
稀有金属2014
稀有金属2013
稀有金属2012
稀有金属2011
稀有金属2010
稀有金属2009
稀有金属2008
稀有金属2007
稀有金属2006
稀有金属2005
稀有金属2004
稀有金属2003
稀有金属2002
稀有金属2001
稀有金属2000
稀有金属1999
稀有金属1998
稀有金属2019年第9期
稀有金属2019年第8期
稀有金属2019年第7期
稀有金属2019年第6期
稀有金属2019年第5期
稀有金属2019年第4期
稀有金属2019年第3期
稀有金属2019年第2期
稀有金属2019年第12期
稀有金属2019年第11期
稀有金属2019年第10期
稀有金属2019年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号