氧化钒薄膜制备方法专利技术分析

• 作者: 原霞 王衍强
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 探索与应用
• 页码范围: 144-145
• 页数: 2页
• 分类号: T18
• 字数: 1838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.05.060

摘要

氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、 光电调节器、 智能窗、 光存储及传感器等应用领域备受关注.对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王衍强		7	1	1.0	1.0
2	原霞		8	1	1.0	1.0