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摘要:
为了更简便、准确地测量透明平行板,提出了一种基于区域生长算法与傅里叶变换的单幅三表面干涉条纹相位恢复方法.通过傅里叶变化将三表面干涉条纹图由空域变化到频谱域.不同表面的干涉条纹在频谱域中对应的位置不同,通过改变区域生长算法中的参数,提取出合适的区域,最终得到面形.该方法可以由单幅三表面干涉条纹图同时得到透明平行板前后两个表面的面形.分析了由算法求得的表面面形的误差,通过叠加分离的双表面干涉图与原三条纹图进行比较,得到相应的误差分布图,通过误差分布图可以改善算法的精度.将得到的面形与Zygo干涉仪得到的面形进行对比,发现该方法测量精度较高,其相位提取误差PV值小于0.12λ,RMS值小于0.065λ;重复性得到验证,其重复率可靠度优于λ/100.测量到的面形与物体真实面形接近,测量方法更加简便.
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文献信息
篇名 通过傅里叶变换测量多表面面形
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 干涉测量 傅里叶变换 相位恢复 多表面干涉条纹 平行平板 区域生长
年,卷(期) 2019,(6) 所属期刊栏目 生命科学仪器
研究方向 页码范围 1277-1285
页数 9页 分类号 O438|TN247
字数 5151字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20192706.1277
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 辛青 杭州电子科技大学电子信息学院 5 6 2.0 2.0
2 李泾渭 杭州电子科技大学电子信息学院 1 1 1.0 1.0
3 侯昌伦 杭州电子科技大学电子信息学院 1 1 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
干涉测量
傅里叶变换
相位恢复
多表面干涉条纹
平行平板
区域生长
研究起点
研究来源
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相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
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