用于液晶盒表面面形检测的短相干载频干涉方法

• 作者: 张正宇 朱文华 杨光 胡晨辉 陈磊
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 液晶盒 短相干光 傅里叶变换 面形检测
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 108-114
• 页数: 7页
• 分类号: O753+.2
• 字数: 2363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20203502.0108

摘要

液晶盒表面面形的质量会影响空间光调制器的性能.为了精确测量液晶盒表面面形,提出了短相干载频干涉方法.利用短相干扩展光源进行照明,产生的参考光和测试光之间形成定域干涉,通过控制参考面和液晶盒表面之间的倾角,引入合适的载频,得到待测载频干涉条纹;同时空液晶盒空气层上下表面干涉,形成背景干扰条纹,从而在CCD相机中采集到混叠有一组干扰条纹的单幅载频干涉图.通过空间傅里叶变换方法滤除背景和干扰条纹的频率信息,提取并恢复待测条纹包含的面形数据.实验检测了两块玻璃基片错位粘合制成的液晶盒表面面形,解算出波面峰谷值PV为8.286λ,波面均方根值RMS为1.782λ.使用该方法和ZYGO干涉仪进行的对比实验中PV值和RMS值分别相差0.023λ和0.004λ,两种测量方法得到的结果一致.该方法能够克服多表面干涉的问题,实现液晶盒表面面形的精确测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
3	张正宇	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	0	0.0	0.0
4	杨光	南京理工大学先进发射协同创新中心	4	0	0.0	0.0
5	胡晨辉	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	0	0.0	0.0