柱面面形干涉测量

• 作者: 于瀛洁 彭军政 许海峰
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 柱面面形 干涉 柱面波转换器 计算全息片 调整误差
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 460-463
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2015.05.03

摘要

介绍了一种柱面面形干涉测量方法.该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量.为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整误差引起的失调像差,并给出了失调像差的分离方法.最后,以玻璃圆柱体为被测样本,对单孔径面形的重复性进行验证,20次测量结果峰谷值(PV)标准差为20.2 nm,为PV平均值的0.55％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	许海峰	上海大学精密机械工程系	1	2	1.0	1.0
3	彭军政	深圳大学光电工程学院	1	2	1.0	1.0