多表面干涉下的光学元件面形检测

• 作者: 任寰 何勇 刘旭 朱日宏 郑万国 马力
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 面形检测 多表面干涉检测 波长移相 平行平板 傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1144-1150
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 2568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132105.1144

摘要

为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术.首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确摆放被测元件的测试位置.然后,通过波长移相技术采集一组干涉图.最后,对这组多表面干涉图进行离散傅里叶变换,提取带有被测元件前后表面面形的频率信息以及厚度变化的频率信息,通过重构算法得到准确的面形信息和厚度信息.实验结果表明:与传统的13步移相算法相比,得到的前表面PV值和RMS值分别相差0.003和0.001,而后表面PV值与RMS值分别相差0和0.001.这些结果基本满足平行平板类光学元件面形的高精度测量与洁净测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何勇	南京理工大学电子工程与光电技术学院	131	768	13.0	20.0
2	郑万国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	106	868	15.0	22.0
3	任寰	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	177	10.0	13.0
5	刘旭	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	63	5.0	7.0
6	马力	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	14	2.0	2.0