非球面光学元件的面形检测技术

• 作者: 刘东 师途 张磊 杨甬英
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 非球面加工 组合干涉检测 自由曲面
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 26-46
• 页数: 21页
• 分类号: TQ171.65|TN247|TH741
• 字数: 17668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140701.0026

摘要

介绍了非球面各加工阶段的面形检测技术及其最新进展，重点介绍了非球面精密抛光期的面形检测技术，并对其中的非零位子孔径拼接干涉检测法和部分补偿法进行了详细阐述，提出了适用于大口径、深度非球面面形检测的组合干涉法的概念。概述了近年来受到关注的自由曲面非球面的发展和检测技术现状，展望了非球面检测技术的发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张磊	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	167	1263	18.0	29.0
2	刘东	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	45	454	12.0	20.0
3	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
4	师途	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	4	85	2.0	4.0