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微光学元件面形的数字刀口检测技术
微光学元件面形的数字刀口检测技术
作者:
张均
张艳
张蓉竹
董军
蔡邦维
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微镜列阵
面形检测
刀口检测
数字化
摘要:
微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题.将传统的刀口检测技术进行数字化改进后,用于微光学元件的面形检测,具有实时、定量、精度高的特点,在光学元件质量评价中有着重要意义.介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理和实验装置,详细论述了对CCD采集的阴影图进行图像处理的关键步骤:(1)精确测定每个像素的暗场阈值所对应的刀口位置;(2)确定与像素相应的面形区域的倾角误差;(3)对面形进行重构.最后结合具体实验进行了分析和讨论,实验所测得的面形误差为nm量级.
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文献信息
篇名
微光学元件面形的数字刀口检测技术
来源期刊
强激光与粒子束
学科
工学
关键词
微镜列阵
面形检测
刀口检测
数字化
年,卷(期)
2004,(2)
所属期刊栏目
高功率激光与光学
研究方向
页码范围
137-140
页数
4页
分类号
TN247|TP211.6
字数
2458字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
蔡邦维
四川大学光电科学技术系
66
756
15.0
24.0
2
张艳
四川大学光电科学技术系
79
513
13.0
21.0
3
张蓉竹
四川大学光电科学技术系
107
573
10.0
20.0
4
董军
四川大学光电科学技术系
6
64
5.0
6.0
5
张均
四川大学光电科学技术系
6
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参考文献(1)
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2004(1)
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二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2004(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2005(4)
引证文献(2)
二级引证文献(2)
2006(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2007(1)
引证文献(0)
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2011(6)
引证文献(2)
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引证文献(0)
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引证文献(0)
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二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
微镜列阵
面形检测
刀口检测
数字化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
主办单位:
中国工程物理研究院
中国核学会
四川核学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-4322
CN:
51-1311/O4
开本:
大16开
出版地:
四川绵阳919-805信箱
邮发代号:
62-76
创刊时间:
1989
语种:
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
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