纳米时栅的电气参数与误差特性研究

• 作者: 刘小康 周启武 孟瑶 施海 郑方燕
• 来源期刊: 重庆理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米时栅 电气参数 阻抗特性 误差特性
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 机械·材料
• 页码范围: 65-71
• 页数: 7页
• 分类号: TH7
• 字数: 3746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8425(z).2019.06.010

摘要

纳米时栅采用交变电场构建匀速参考系,实现空间到时间基准的溯源,提高了测量精度.提出一种基于交变电场的直线式位移时栅传感器.为进一步提升传感器测量精度并实现高精度测量,研究了电气参数对纳米时栅精度的影响,分析了传感单元之间的阻抗特性.针对影响电场分布的阻抗进行分析研究,首先建立传感器的电路模型,依据对电路方程的推导以及电气参数的仿真,分析了阻抗特性引入的误差规律.制作了传感器样机,并搭建实验平台进行了精度测试,验证了推导误差规律,同时借助时空转换原理修改激励信号参数,消除了阻抗特性带来的影响,最终传感器对极内精度达到 ±0.4μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	62	440	12.0	16.0
2	刘小康	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	16	252	10.0	15.0
3	施海	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	5	10	2.0	3.0
4	周启武	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	4	1	1.0	1.0
5	孟瑶	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心	1	0	0.0	0.0