基于电场分布特性的环形栅器件SPICE模型研究

• 作者: 付方发 张波 肖立伊
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 环形栅 电场分布 等效宽度 SPICE模型 TCAD
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 页码范围: 140-144
• 分类号: TN702
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新颖的、更加通用的环形栅器件版图等效宽度提取方法，用于解决目前商用SPICE模型中版图宽度提取方法不适用于环形栅器件这一问题．该方法基于环形栅中沟道电场分布特性，可用于提取多种形状环形栅版图宽度．提出了SPICE模型中模型参数的修改方法，使SPICE环形栅器件模型仿真更为精准．通过TCAD（计算机辅助设计）等多种仿真途径对该模型进行验证，结果表明该模型具有较高的精确度．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖立伊	哈尔滨工业大学微电子中心	39	247	9.0	13.0
2	张波	哈尔滨工业大学微电子中心	43	181	7.0	12.0
3	付方发	哈尔滨工业大学微电子中心	18	70	4.0	7.0