MEMS麦克风灵敏度异常的失效分析

• 作者: 李玉 袁锦科 黄彩清
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS麦克风 灵敏度 失效 颗粒
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 行业应用与交流
• 页码范围: 151-155,167
• 页数: 6页
• 分类号: TN407
• 字数: 3153字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7241.2019.05.033

摘要

MEMS麦克风是一种将音频信号转换成电信号的微型传感器,目前应用比较普遍,在产品应用的过程中会遇到不同的产品失效的问题,若对MEMS麦克风的失效样品进行归类分析,找到产品失效的根本原因,对产品的生产和应用将具有非常重要的意义.本文主要针对麦克风众多失效问题的一种——灵敏度异常问题,应用显微镜、扫描电镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)等设备对其失效样品地进行了深入的分析,总结了此类失效分析样品的分析思路和失效机理,对MEMS麦克风样品的失效分析研究有很好的借鉴意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄彩清		7	5	1.0	1.0
2	李玉		2	1	1.0	1.0
3	袁锦科		1	0	0.0	0.0