汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层组织及耐磨性能分析

• 作者: 李红英
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: TaN涂层 磁控溅射 N2流量 组织 磨损性能
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文

摘要

为了提高汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层的耐磨性能,研究分析了不同N2流量下TaN涂层的组织和性能.结果 表明:通入的N2流量很小时,形成的TaN涂层表面相对粗糙,形成了“山脊状”的团聚颗粒;N2流量为5 mL/s时,形成的TaN涂层表面相对平坦,具有“菜花状”的小尺寸团聚晶簇.随着N2流量的上升,将使吸附原子的活性减小,由于(110)晶面属于bcc结构的密排面,对应的能量最低,这使得(110)晶面可以包含更多低能量原子.当N2流量升高后,涂层内N掺杂浓度更高,使得涂层的硬度与弹性模量都增大,涂层获得更优的耐磨性.通入N2后,所有TaN涂层比不通入N2得到的涂层的磨损率明显减小,磁控溅射过程掺杂N元素后涂层的耐磨性更佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李红英	江西科技学院汽车工程学院	7	0	0.0	0.0