微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究

• 作者: 刘璇 尹韶辉 张慧洁 李建相 贾红鹏 陈逢军 黄帅
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 飞秒激光加工 微细流路 模压成形 模具 超硬材料 表面质量
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 专题——激光复合制造与表面改性
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: V261.8
• 字数: 3340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.10.011

摘要

目的 解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题.方法 采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究.对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实验,研究其变化对加工表面质量及尺寸精度的影响.使用白光干涉仪测量了加工后表面的粗糙度,使用超景深三维显微系统测量了加工深度,并通过对结果的综合优化得出了最优工艺参数.结果 在所选的25组工艺参数中,各参数的变化对表面粗糙度值影响不大,对材料加工深度影响最大的因素为扫描速度,影响最小的为激光功率.经过综合优化,最佳工艺参数组合为:扫描功率20 W,扫描速度200 mm/s,扫描层数25.结论 随着飞秒激光功率的增大、扫描速度的减小和扫描层数的增加,加工深度都有显著增加.以最优加工参数加工而得的模具微凸起的上表面宽度为152μm,边缘整齐,通道深度为42.41μm,横压成形玻璃表面粗糙度值为0.164μm.研究结果为飞秒激光加工碳化钨微细流路提供了一定的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学机械与运载工程学院	43	418	10.0	18.0
2	尹韶辉	湖南大学机械与运载工程学院	66	540	12.0	20.0
3	刘璇	湖南大学机械与运载工程学院	7	27	1.0	5.0
4	黄帅	湖南大学机械与运载工程学院	16	30	3.0	5.0
5	张慧洁	湖南大学机械与运载工程学院	1	1	1.0	1.0
6	贾红鹏	湖南大学机械与运载工程学院	2	1	1.0	1.0
7	李建相	湖南大学机械与运载工程学院	2	2	1.0	1.0