改进的激光光斑位置分辨率模型

• 作者: 吴佳彬 张楠 王景源 陈云善
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 四象限探测器 位置检测 位置分辨率 高斯光斑
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 168-174
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0904004

摘要

为了分析四象限探测器(QD)激光光斑位置检测性能,建立了新的高斯光斑位置分辨率数学模型.分析了高斯光斑模型下QD位置检测原理和近似数学模型,根据误差函数可导性,结合误差理论推导出位置分辨率与总信噪比、光斑中心位置和光斑半径关系的数学模型,数值仿真和实验系统验证了所提模型的正确性.结果 表明,当光斑半径为0.74 mm,总信噪比为66.96 dB时,在光斑中心偏移±0.45 mm范围内,所提模型的估算误差约为36％,与原近似模型相比,精度提高了约1倍,可以对激光光斑位置检测系统的位置分辨率进行有效估算.